李志坚 Li Zhijian
简历 :1928年5月1日生于浙江宁波。2011年5月2日逝世于北京。电子学家。1951年毕业于浙江大学物理系。1958年获苏联列宁格勒大学数学-物理学科学副博士学位。1991年当选为中国科学院院士(学部委员)。曾任清华大学教授、半导体教研室主任、微电子所所长、校学术委员会副主任,中国电子学会副理事长,国家信息化专家咨询委员会委员。
主要成就 :主要从事半导体器体、微电子学和微系统的研究。留苏期间,曾研究半导体薄膜电导和光电导机理,有所建树。1958年起在国内开展硅材料和器件的研究。60年代初研制出硅单晶以及高反压(>140V)硅平面晶体管。70年代和80年代,在国内首先分别建立起3微米和1微米IC工艺线,开发出相应的整套CMOS工艺和1兆位汉字ROM芯片,使中国IC技术首次迈入VLSI层次。1987年开始在国内首先提出系统集成芯片技术的研究,是中国MEMS和SOC研究的先驱者。1987年和1995年两次获国家科技进步奖二等奖。1990年获国家发明奖二等奖。2000年获何梁何利基金科学与技术进步奖。
著作和论文 :
《半导体材料硅》(主编) 科学出版社 1959年
《MOS大规模集成技术》 科学出版社 1984年
《VLSI器件、电路、系统》(与周润德合著) 科学出版社 2000年