沈天慧(女) Shen Tianhui

简历 ：1923年4月27日生于浙江嘉善。2011年1月2日逝世于上海。化学家。1949年毕业于上海大同大学化工系。1957－1959年留学苏联进修半导体材料。1980年当选为中国科学院院士（学部委员）。曾任航天工业部771研究所副所长，航天部科技委委员，中国宇航学会理事，上海交通大学学术委员会委员，《分析化学》编辑委员会顾问。

主要成就 ：长期从事分析化学、半导体化学研究工作。1954年参加了包头白云鄂博稀土铁矿的全分析工作，在全分析方法上作出了贡献。1960年在长春应用化学所建立了中国第一个SiHCl3法制备高纯硅，研制出半导体高纯硅，使中国半导体材料研制技术与当时的世界先进水平相接近。20世纪70年代大规模集成电路的研制，成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺制备出数种大规模集成电路。1987年后从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作，研制出具有国际水平的直径为2mm的微马达。1985年和1988年两次获国家科技进步奖三等奖。

著作和论文 ：
化学在集成电路中的作用（1984年在第五次学部大会上所作报告）《化学通报》  第1期  1984年
超大规模集成电路工艺：超微细加工  《微电子与计算机》  第5期  1988年
化学气相淀积技术（专题技术讲座连载）  《半导体杂志》  1985年第6期—1992年第4期